四氟化碳
分子式：CF4
分子量：88.01
CAS号：75-73-0
性质：又称四氟甲烷。
(tetrafluormathane)。无色无臭味气体。不燃。熔点-184℃。沸点-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡胶，也可用作制冷剂、绝缘气体。可用于半导体生产中等离子蚀刻、表面清洗，并用作太阳能电池气体，激光器工作介质。及超低温制冷剂，气体绝缘剂、微电子工业中等离子体化学干刻剂以及火箭方向的控制。高浓度对人体有麻醉作用。
用途：用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。
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指标：
项目名称
|
指标纯度 |
|
四氟化碳（CF4）.% |
≥99.999 |
≥99.995 |
≥99.99 |
|
氮气（N2）.ppmv |
≤4 |
≤20 |
≤40 |
|
氧气（O2）.ppmv |
≤1 |
≤5 |
≤10 |
|
二氧化碳（CO2）.ppmv |
≤1 |
≤5 |
≤10 |
|
一氧化碳（CO）.ppmv |
≤0.3 |
≤0.5 |
≤1 |
|
六氟化硫（SF6）.ppmv |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
|
水份（H2O）.ppmv |
≤1 |
≤5 |
≤10 |
|
酸度（HF）.ppmv |
≤0.1 |
≤0.3 |
≤0.3 |
|
氟碳化合物（TFC）.ppmv |
≤1 |
≤10 |
≤30 |
|
注：氟碳化合物CH3F（R41）、CH2F2（R32）、CHF3（R23）、C2F6（R116）、C3F8（R218）等。 |
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包装：
| 钢瓶规格（DOT) |
48.8L |
47L |
40L |
10L |
4L |
|
钢瓶阀 |
CGA580/CGA590/CGA320 |
