氦质谱检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想的方法。因氦是隋性气体，对大气无污染，使用安全；氦原子量小、粘度小，易渗透过任何可能存在的漏率，检测灵敏度高、速度快、适用范围广；加之氦在大气中含量少(仅万分之五)，离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，不会错判。与当今诸多检漏方法(如气泡法、卤素检漏法等)相比，它是佼佼者。

性能指标
氦质谱检漏仪
型号最小可检漏率Pa.m³/s
ZLS-23B2·10^-11
型号反应(清除)时间s
ZLS-23B＜3
型号读数方式
ZLS-23B表头(mV)
型号特点
ZLS-23B单主机，带标准漏空