半岛bd体育手机客户端 介绍：

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名称：高精密匀胶机

型号：EZ4

原产地：

应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

半岛bd体育手机客户端 概述：

EZ4匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。
EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

性能参数：

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l支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4"圆晶）

l速度可调范围：100-10000rpm

l加速度可调范围：100-10000rpm/s

l转速分辨率：1rpm

l转速精度：＜±5rpm

l可编程5组5步程序

l宽电压输入：AC100-230V

半岛bd体育手机客户端 特点：

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l75W直流无刷电机，单片机控制

l高清晰文本显示器

l可单步和多步匀胶操作

lPP耐腐蚀内腔，可更换

l铝合金阳极氧化外壳，美观大方

l耐溶剂PC透明盖

l多角度定位铰链设计

lHDPE真空吸盘

半岛bd体育手机客户端 外型尺寸：
250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)