操作温度

室温

室温

通风

建议用通风橱

建议用通风橱

搅拌

搅拌可加快蚀刻速率

搅拌可加快蚀刻速率

罐

玻璃

玻璃

蚀刻速率，25℃

28 Å /秒

50 Å /秒

组成

液体中含KI-I2络合物

液体中含KI-I2络合磷酸盐化合物

PH（20℃）

8.15±0.2

密度（20℃）

1.265±0.01

蚀刻能力（g/加仑）

100

100

光刻胶相匹配性

阴，阳光刻胶

阴，阳光刻胶

冲洗

蒸溜水，去离子水

蒸溜水，去离子水

废液处理

按国家有关规定处理

钠（Na）

40

氯和溴（CL）

100

铅(Pb)

5

铁(Fe)

3

硫(作为硫酸盐)

50

磷(作为磷酸盐)

10