半岛bd体育手机客户端 参数：

石英仓尺寸	150X120MM
样品台尺寸	70mm
溅射面积	50mm
最高真空度	5pa
可通气体	氩气，氮气等惰性气体
最高溅射速度	8nm/min
整机功率	200W
机器尺寸	360(W)X310(D)X150mm(H)

半岛bd体育手机客户端 特色：

· 4.3寸彩色触摸屏，图形化界面操作简单方便；

· 石英腔分体结构设计，拆装方便；

· 基片台高度可调，旋转调节简单快捷；

· 可通工艺气体，流量调节快速方便；

· 溅射结束自动充气功能，方便开盖取放、片；

· 镀膜均匀致密，适用多种金属靶材；

· 多重软件保护设置，安全耐用；

· 外型紧凑小巧，节省空间；

性能参数：

· 极限真空：20Pa左右；

· 工艺气路数：1路；

· 石英腔尺寸：Φ150*90mm；

· 靶材尺寸：Φ50*0.1mm；

· 基片台尺寸：Φ68mm，基片台可调范围：0~20mm；

· 适用基片尺寸：0~50mm；适用基片种类：Au，Ag，Pt等金属靶材；

· 真空泵功率：0.55KW；抽速：4L/S;

· 溅射仪外型尺寸：350mm（W）×335mm（D）×370mm（H）；

· 真空泵外型尺寸：526mm（W）×176mm（D）×270mm（H）；

· 半岛bd体育手机客户端 质量：溅射仪，18 KG，真空泵，22KG。

·宽电压适用，AC100-250V输入；

包装箱
箱号	名称	包装明细
		序号	名称	数量	检查
1	SC-SU-I	1	主机	1
		2	靶材（已安装）	1
		3	Φ4气管	1
		4	Φ18气管	1
		5	喉箍	2
			KF16卡箍	2
		6	触控笔	1
		7	电源线	1
		8	电源延长线	1
		9	说明书	1
		10	合格证	1
		11	质保卡	1
		12	宣传册	1
2	真空泵（选配）	1	真空泵	1
		2	油雾过滤器	1
		3	油雾过滤器安装教程	1