临界点干燥仪是指干燥介质在液态和气态相互转换时，介质的表面表面张力为零（此点具有特定压力和温度，称为临界点），而零表面应力对生物样品的破坏大大降低，利用此原理制成的干燥仪即为临界点干燥仪。
通常每种物质均有其特定的临界点，而被用来作为临界点干燥的物质称为转换液 (transitional fluid)，欲干燥的样品必须完全浸泡于其中。一般最常使用的转换液为液态二氧化碳，此乃由于二氧化碳的临界点较低较容易达到，且在生物标本能容忍的范围内。
在对生物样品进行制备时经常需要进行脱水处理，但水的临界点为+374℃及3212 p.s.i.，很不方便并且容易损坏试样。最通常也是最方便的临界点干燥介质为CO₂，它的临界点在+31℃及1072p.s.i.。然而它不容易与水混合，因而必须用第三种介质，通常用丙酮作为中间液体。这样在把过渡液体，即CO₂从液体转为气体时，在临界点无表面应力。

广泛应用于生命科学（生物学）、半导体晶圆、MEMS等领域的样品做无应力干燥处理。