用途

球面或圆柱面的表面粗糙度是无法直接测量的，但除去圆形状成分进行补正即可进行表面粗糙度评价。

除了圆形外，还可以对应抛物线、圆锥形、倾斜等表面的测量。

性能参数

大范围高分辨率检出器

■检出器

测量范围/ 最小分辨率:

800μm/0.01μm

80μm/0.001μm

8μm/0.0001μm

高精度直线驱动部

■驱动部

直线度/ 驱动长度:

0.3μm/25mm (SJ-411)

0.5μm/50mm (SJ-412)