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钛-钨蚀刻剂TiW-30
钛-钨蚀刻剂TiW-30图片
品牌: Transene
包装: 4L
产地: 美国


半岛bd体育手机客户端 名称
TI-TUNGSTEN ETCHANT TiW-30
半岛bd体育手机客户端 介绍
钛—钨TiW—30
说明
钛—钨 TiW—30是微电子半岛bd体育手机客户端 中钛—钨粘结层的选择蚀刻剂。TiW—30能有效地蚀刻沉积在铜、氮化硅和氧化硅上的钛—钨薄膜。TiW—30蚀刻的线路轮廓清晰、蚀刻速率可控。与阴、阳性光刻胶具有广泛的匹配性。
性质
外观
水白色
蚀刻速率， 25℃
10～ 15?/秒
操作温度
25～ 40℃
冲洗
去离子水
贮存
0℃
有效期
在 25℃，2个月
在 0℃，6个月
应用
钛—钨TiW—30是专门设计用来去除二氧化硅和氮化硅等基板上钛—钨合金粘结层的使用方便的溶液。TiW—30不浸蚀铜膜。将此蚀刻剂加热到40℃会加快对厚膜的蚀刻速率。


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烟台科瑞尔化学科技有限公司
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地址: 山东省烟台市芝罘区海港路29号1506室
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