项目

S500 (规格Type AR111)

外部密封

氟橡胶

接触气体材料

SUS316L,氟橡胶,磁性不锈钢

调节阀类型

非通电时常闭

满量程流量(N2换算流量)

10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min
1,2,3,5,10,20,30 L/min

流量控制范围

2%～100%F.S. (0.1～5V DC)

流量测量范围

0～100%F.S. (0～5V DC)

响应时间（输出电压）

1秒 (保证 1.5秒以内T98)

工作环境温度

5～45℃ (精度保证 15～35℃)

流量精度

±1.0%F.S

线性

±0.5%F.S.

重复性

±0.2%F.S.

工作压差

10mL/min～5L/min :50～300kPa(d)
10L/min～30L/min :100～300kPa(d)

最大工作（使用）压力

300kPa(G)

耐压

3MPa(G)

泄漏率

1×10^-8Pa?m³/s(He)以下

流量设定信号

0.1～5VDC(2%～100%F.S.)

流量输出信号

0～5VDC(0%～100%F.S.)

供电电源

+15V±5% 100mA以下
－15V±5% 150mA以下

管路接头

安装角度

任意

电气接头

D-Sub 15pin

输入输出阻抗

输入：1MΩ以上 输出：3mA以下

附加功能

Auto-zero、Auto-close