ZEISS Sigma 360是高性能的肖特基场发射扫描电镜，其GEMINI I镜筒，采用先进的肖特基场发(SFE)源，内置电子束推进器和in-lens二次电子检测器，使Sigma 360具有**的低电压性能和易于获得优异的表面信息。
新材料和颗粒的质量监测，或用于生物和地质样品的研究
二次电子像分辨率0.9nm(15 kV)，1.3nm(1 kV)；放大倍率10~1000000倍；加速电压20V—30kV，步进10 V，连续可调；肖特基热场发射电子枪，最大束流20 nA，束流稳定性优于 0.2%/h