安徽歌博科技A500型干泵氦质谱检漏仪，灵敏度高、操作便捷、低维护，使您放心得到准确可靠的测试结果。

半岛bd体育手机客户端 广泛应用于科研院所、航空航天、半导体、半导体气柜，光伏等行业。

功能描述

支持正压检漏，负压检漏

自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果

优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应

高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦

支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底

机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试

机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击

支持定制检漏工作台，更加便捷使用

技术参数

最小可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa?m3/s

最小可检漏率（正压模式） 1×10-8Pa?m3/s

检漏口压强 粗检 1500Pa

中检 200Pa

精检 40Pa

响应时间 ＜0.5s

启动时间 ≤2min

前级涡旋干泵抽速 10m3/h

外形尺寸（W×D×H） 845×465×988

重量 73Kg

尺寸图

常见泄漏率

检漏方法示意图