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KT-Z1650PVD小型溅射仪
KT-Z1650PVD小型溅射仪图片
型号:KT-Z1650PVD
参考价格:39800元/台
交货期:两周
产地:河南郑州
半岛游戏平台官网入口网址 种类:真空镀膜机


半岛bd体育手机客户端 名称
桌面式溅射仪
半岛bd体育手机客户端 介绍

桌面式磁控溅射仪KT-Z1650PVD离子溅射仪为一种有着紧凑结构的桌上型镀膜系统,对于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜尤为适用。试样干燥清洁为离子溅射镀膜的基本要求。在必要时,交换试样与阴极的位置利用火花放电从而对试样表面进行清洁,之后试样复原,再进行溅射镀膜。铁、镍、铜铅等为离子溅射仪常用的阴极材料,有时电刚金、铂、钯、铟和其他金属也能够作为阴极材料,氧气为离子溅射仪常用的反应气体。

*外形小巧方便移动

*触摸屏控制,工艺记忆储存方便镀相同样品

*自动化电动挡板,能自动打开关闭,保证镀样时间和保护样品

*石英+不锈钢腔体,方便观察和清洗

 

面式磁控溅射仪KT-Z1650PVD厂家供应技术参数;

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

溅射电源

直流溅射电源

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

功率

≤1000W

输出电压电流

电压≤1000V 电流≤1A

真空

机械泵 ≤5Pa5分钟) 分子泵≤5*10^-3Pa

溅射真空

≤30Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

样品台

可旋转φ62 (可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品溅射源调节距离

40-105mm

真空测量

皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa

预留真空接口

KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口

 

 


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联系人: 张女士
地址: 郑州市高新技术技术开发区西三环283号大学科技园11号楼
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