嘉仪通RTP4吋快速退火炉采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸样品）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到**的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)及金属合金化等研究和生产工作起到重要作用。

型号	RTP-3-04系列快速退火炉
温度	1200℃
升温速率	150℃/s
降温速度	1200℃→400℃: 裸片600℃/min(双石墨盘130℃/min) 400℃→100℃: 裸片20℃/min(双石墨盘10℃/min)； （氮气吹扫）
控温精度	±0.5℃(RT-1000℃) ±1℃(1000-1200℃)
温场均匀性	≤1.5% 设定温度 ≤3% 设定温度 ≤5% 设定温度
腔体冷却	独立水冷
衬底冷却	氮气吹扫
气体流量	1～4路MFC控制
压力控制	~1bar，±100Pa
样品尺寸	4英寸（直径100mm）