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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-100PA真空旋转涂膜机
VTC-100PA真空旋转涂膜机图片
型号: VTC-100PA
产地: 烟台
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型号: VTC-100PA
产地: 烟台
半岛bd体育手机客户端 介绍

1、引言

VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

2、主要技术指标

电机功率:350W

电源:AC220V 50Hz

速度范围:500rpm-10000rpm

程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段

增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s

时间范围:0-60s

吸盘:?19mm、?60mm

本机可选配加热功能:加温范围RT-150℃;加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟;温度单独控制,与主机程序控制无关联;

尺寸:450mm×280mm×340mm

重量:20kg

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