微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
VTC-100PA真空旋转涂膜机
半岛bd体育手机客户端 介绍
1、引言 VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。 2、主要技术指标 电机功率:350W 电源:AC220V 50Hz 速度范围:500rpm-10000rpm 程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段 增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s 时间范围:0-60s 吸盘:?19mm、?60mm 本机可选配加热功能:加温范围RT-150℃;加热盖,水槽及吸盘采用耐高温材质聚四氟;温度单独控制,与主机程序控制无关联; 尺寸:450mm×280mm×340mm 重量:20kg |
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