微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
KW-12A旋涂机
半岛bd体育手机客户端 介绍
12系列包含单头、多头,单速、多速等系列半岛bd体育手机客户端 ,满足客户不同需求。 12A旋涂机主要用于光刻胶涂布、涂硼等工艺过程,该设备具有匀胶效率高,使用方便等特点。其匀胶速度、时间分多个时段,并分别无级可调。 电器线路可靠,电机运转平稳,特别是电机转矩大,优于同类半岛bd体育手机客户端 。 吸片采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个旋涂机工作,提高了效率。 半岛bd体育手机客户端 参数 1、工作电源 AC220V 50Hz 2、电源功率 200W 3、装片直径 选择10/20/30……250mm 4、 4个速度、时间段(1V、2V、3V、4V,T000)记忆 5、 八组程序(A1-A8)记忆 6、加速一致性(误差)±0.5% 7、转速稳定度 ±1% 9、匀胶时间 0-240秒 10、速度范围 100-7000 ,50转一档 11、外形尺寸 250x300x300mm 12、重量 旋涂机11KG,选配件真空泵5KG 装箱单 匀胶机主机一台,接胶锅一只,配套吸盘1只 |
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