双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的双管CVD系统,是专为在金属箔上生长薄膜而设计的,特别适用于新一代能源——柔性金属箔电极方面的研究。本机可通过滑动炉体,实现快速加热和冷却。
OTF-1200X-4-C4LVS双管滑动快速加热冷却炉操作视频控温仪表操作视频
半岛bd体育手机客户端 型号 |
双管滑动快速加热冷却炉OTF-1200X-4-C4LVS |
安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头) 4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 |
1、采用高纯Al2O3保温材料,保证了炉膛有极好的温度均匀性,内炉膛表面涂有进口高温氧化铝涂层,可以提高设备的加热效率及延长半岛游戏平台官网入口网址 的使用寿命。 2、设有双石英管,金属箔缠绕在内管的外表面上,以发生CVD反应。 3、双管的真空密封法兰允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管。 4、配有四通道质量流量计控制4路气体,及采用KF25快接和波纹管连接的高速机械泵。 5、底部设有滑轨,炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温。 6、样品所在的位置每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。 |
技术参数 |
1、电源:单相208V-240V AC 50Hz/60Hz 2.5KW(20A保险丝) 2、石英管:外管外径?100mm,内径?96mm,长1400mm 内管外径?80mm,内径?75mm,长1400mm 3、加热区:440mm 4、恒温区:120mm(双温区炉可获得240mm) 5、工作温度:最高温度1100℃,连续温度1000℃ 6、控温精度:±1℃ 7、升降温速度:在使用前需要校正工作温度、加热效率、冷却效率 8、真空度:10-3torr(机械泵),10-5torr(分子泵) 9、真空法兰:SS304不锈钢,配有两个高温O型圈密封 10、流量计:4路精密质子流量计,气体流量自动控制(数字显示) MFC1范围0-100sccm MFC2范围0-200sccm MFC3范围0-200sccm MFC4范围0-500sccm 11、流量精度:0.2% 12、进出气口:1/4"卡套 |
半岛bd体育手机客户端 规格 |
尺寸:550mm×380mm×520mm;重量:138kg |
可选配件 |
1、铜箔(150m×150mm×25?m,生长石墨烯用) 2、防腐型数字式真空显示计 |