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混气系统4路质子GSL-4Z
混气系统4路质子GSL-4Z图片
型号: GSL-4Z
产地: 广东
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型号: GSL-4Z
产地: 广东
配件产地: 国产配件
半岛bd体育手机客户端 介绍

混气系统4路质子GSL-4Z是用于控制一种到四种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架内,管式炉可以放在移动架上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀,可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响,在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析半岛游戏平台官网入口网址 。

半岛bd体育手机客户端 型号

混气系统4路质子GSL-4Z

主要特点

精度高,运行稳定可靠,工作压力范围宽,可在高压或真空条件下工作,且操作使用方便。

技术参数

1、电源:185-245V 50Hz

2、最大输出功率:18W

3、控制范围:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、

控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM

4、最大压力:3×106Pa

5、准确度:±1%FS

6、线性:±0.5-1.5%

7、重复精度:±0.2%FS

8、响应时间:气特性1-4s,电特性10s针阀:316不锈钢

9、工作压差范围:0.1-0.5 MPa

10、压力表测量范围:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid)

11、混气罐:?80mm×120mm

12、截止阀:?1/4″,316不锈钢针阀

13、工作温度:5-45℃

半岛bd体育手机客户端 规格

尺寸:600mm×600mm×650mm

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