2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC是一款较大型高温感应加热、熔炼炉系统,配备30KW感应加热器、8.5"(216mm)石英管、铰接式法兰及阀门、石墨坩埚、石墨毯、氧化铝保温毯、16L/min循环冷水机、真空泵和移动炉架,最高温度可以达到2000℃(使用时石英管内需通入保护性气体),是生长晶体、金属熔炼和各种材料的热处理的**选择。
2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC操作视频
半岛bd体育手机客户端 型号 |
2000℃温度可控型30KW感应加热炉SP-85KTC |
安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:设备配有自循环冷却水机(加注纯净水或者去离子水) 2、电:AC380V 50Hz(63A空气开关),必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(自带?6mm双卡套接头) 4、工作台:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通风装置:需要 |
主要特点 |
1、采用多块氧化铝制作的耐火材料,用于支撑石墨坩埚,并防止热量辐射。 2、设有自动水压、过热、功率过高保护系统。 3、温控器采用PID方式控温,可设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。 4、配有防腐型真空计,当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类的不同进行系数转换,量程可到3.8×10E-5 torr。 5、迷你型浮子流量计精度为4%。 6、配有双级旋片机械泵(2L/s),可使石英管内真空度达到10E-2torr。 |
技术参数 |
感应加热器 1、工作电压:三相AC 380V 50Hz(需60A空气开关) 2、工作电流:7Amps-70Amps(需100A空气开关) 3、功率:最大振荡功率30KW,最大输入功率15KW 4、输出频率:30KHz-110KHz 5、占空比:80% 6、感应线圈:内径?220 mm,高65 mm 7、空气冷却:后风扇 |
温度控制器及热电偶 1、工作电压:AC208V-240V 单相 2、控温精度:±3℃ 3、热电偶:C型,外径?1/4",长10" 4、连续工作温度范围:1000℃-2000℃ 5、最大升温速率:4℃/s(1000℃-1200℃)、3℃/s(1200℃-1500℃)、1℃/s-2℃/s(1500℃-2000℃) |
石墨坩埚(易耗件) 1、高纯石墨坩埚:外径?114mm,内径?100mm,高142mm 2、最大容量:样品所占容积应为石墨坩埚容积的1/2,最大质量为4kg(以铁标定) 3、保温层:石墨坩埚外环绕三层隔热材料,从内至外分别为石墨毡(可耐温2200℃)-氧化铝(可耐温1700℃)-高 温毡,总厚度为32mm |
石英管和密封法兰 1、石英管:两端开口,外径?216mm,内径?208mm,长500mm 2、顶部法兰:采用不锈钢折叠式法兰,装有防腐型真空计、不锈钢截止阀,设有1个1/4"的铠装接口(可插入热电 偶至石英管内部,更准确地测量样品温度) 3、底部法兰:设有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接 |
水冷机 1、温度:5℃-30℃ 2、水流速:>16L/min 3、水箱容积:12L,采用不锈钢制作 4、水压:≥0.1MPa 5、流量:≥5L/min (建议使用特定的冷却剂液以达到***冷却效果) |
真空泵 工作电压:AC208V-240V单相 |
移动炉架 尺寸:700mm×1000mm×700mm,钢框架结构,方便移动感应加热器和带法兰的石英管 |
半岛bd体育手机客户端 规格 |
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注意事项 |
操作前,必须仔细阅读说明书,且操作人员需带防护面罩。使用时,熔炼必须在≤0.02Mpa 的流动氩气下进行,流 量小于200ml/min,需始终保持石英管内的气压<0.02MPa。升温过程中需时刻注意石英管内的气压,若气压超过安 全值,会引起石英管开裂、法兰蹦出,甚至造成人身伤害。 |
其他事项 |
本机可改为RTP(快速热处理炉)和混合物物理化学气相沉积(HPCVD)系统。请参看下图。 |