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SKCC-ZZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(自旋转靶头)
SKCC-ZZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(自旋转靶头)图片
型号: SKCC-ZZB-X
产地: 广东
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型号: SKCC-ZZB-X
产地: 广东
配件产地: 国产配件
半岛bd体育手机客户端 介绍

SKCC-ZZB-X高真空磁控溅射永磁靶头(自旋转靶头)适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。

半岛bd体育手机客户端 型号

SKCC-ZZB-X(高真空磁控溅射自旋转靶头)

半岛bd体育手机客户端 规格

2寸,SKCC-ZZB-2

3寸,SKCC-ZZB-3

4寸,SKCC-ZZB-4

5寸,SKCC-ZZB-5

6寸,SKCC-ZZB-6

7寸,SKCC-ZZB-7

主要特点

1、转靶带挡板(可电动控制,可手动控制);

2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布;

3、转靶转速5~60转/分可调;

4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。

5、安装采用标准真空接头,便于操作。

6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC;2、射频RF

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