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SKCC-TFB-X高真空磁控溅射永磁靶头(条形方靶)
SKCC-TFB-X高真空磁控溅射永磁靶头(条形方靶)图片
型号: SKCC-TFB-X
产地: 广东
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型号: SKCC-TFB-X
产地: 广东
配件产地: 国产配件
半岛bd体育手机客户端 介绍

SKCC-TFB-X高真空磁控溅射永磁靶头(条形方靶)适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形永磁体在靶头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。

半岛bd体育手机客户端 型号

SKCC-TFB-X(高真空条形方靶)

半岛bd体育手机客户端 规格

SKCC-TFB-X:

X代表方靶的“长X宽”尺寸,例如:

方靶尺寸:300X70(mm),则名称为:SKCC-TFB-300x75

700X90(mm),SKCC-TFB-700x90

1000X120(mm),SKCC-TFB-1000x120

方靶尺寸范围:

长:220-2000,宽:75-150 单位:mm

其它尺寸可以根据客户要求订制:

主要特点

1、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布;

2、条形方靶采用特殊结构(大型条形方靶经过生产线检验),可保证长期工作;

4、标准的接头,大型与DC匹配,小型既可以与DC电源匹配也可以与RF电源相匹配;

5、安装采用标准真空法兰(CF金属密封或Dg胶圈密封可选);

6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。

配套电源

1、直流DC;2、射频RF

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