高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成，最高工作温度可达1200℃，混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入管式炉内部，本系统极限真空度可达10-5torr。
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高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV |
| 安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源 4、工作台：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 |
1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<60℃。 2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层，可以提高反射率和保护炉膛洁净度。 3、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。 4、质量流量系统采用316不锈钢制作而成。 5、已通过CE认证。 |
技术参数 |
管式炉 1、电源：AC 220V 50Hz/60Hz 2、石英管：外径?80mm，内径?75mm，长1000mm 3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝（表面涂有氧化锆） 4、加热区域：440mm 5、恒温区域：150mm 6、工作温度：最高1200℃，连续工作1100℃ 7、最大升降温速率：20℃/min 8、控温精度：±1℃ 9、热电偶：K型 |
高真空机组 1、壳体：600mm×600mm×700mm，最大承重275kg 2、真空泵：德国Pfeiffer真空泵 3、显示屏：LCD数字显示 4、抽气速率：N2-33L/s，He-39L/s，H2-32L/s 5、工作范围：1000mtorr-10-7mtorr 6、极限：10-8mtorr（无泄漏） |
质量流量混气系统 1、电源：单相AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率：18W 3、尺寸：600mm×600mm×700mm 4、混气箱：?80mm×120mm |
