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其它行业专用半岛游戏平台官网入口网址 /仪表 >> 化学气相沉积系统(CVD)
高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV
高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV图片
型号: OTF-1200X-80-C2HV
产地: 广东
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型号: OTF-1200X-80-C2HV
产地: 广东
半岛bd体育手机客户端 介绍

高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,最高工作温度可达1200℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5torr。

半岛bd体育手机客户端 型号

高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、工作台:尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、双层壳体,配有风冷系统,壳体温度<60℃。

2、内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高反射率和保护炉膛洁净度。

3、采用PID控制器,可以设置30段升降温程序。

4、质量流量系统采用316不锈钢制作而成。

5、已通过CE认证。

技术参数

管式炉

1、电源:AC 220V 50Hz/60Hz

2、石英管:外径?80mm,内径?75mm,长1000mm

3、加热元件:掺钼铁铬铝合金电阻丝(表面涂有氧化锆)

4、加热区域:440mm

5、恒温区域:150mm

6、工作温度:最高1200℃,连续工作1100℃

7、最大升降温速率:20℃/min

8、控温精度:±1℃

9、热电偶:K型

高真空机组

1、壳体:600mm×600mm×700mm,最大承重275kg

2、真空泵:德国Pfeiffer真空泵

3、显示屏:LCD数字显示

4、抽气速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s

5、工作范围:1000mtorr-10-7mtorr

6、极限:10-8mtorr(无泄漏)

质量流量混气系统

1、电源:单相AC208V-240V 50Hz/60Hz

2、功率:18W

3、尺寸:600mm×600mm×700mm

4、混气箱:?80mm×120mm

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