产品型号

六源有机无机联合蒸发镀膜设夆�/p>

主要特点

1、样品在镀膜过程中，带有烘烤加热功能，最高烘烤加热温度为：室温～180℃，测温控温、�/p>

2、设备带有断水断电连锁保护报警装置、防误操作保护报警装置、�/p>

技术参�?/strong>

1、镀膜室：镀膜腔室尺寸约�?00��450��450mm，不锈钢材料，方形前后开门结构，内带有防污板、�br />2、抽气系统：采用分子�?机械泵抽气系统：
真空度：镀膜室的极限真空≤6��10-4Pa：�br />系统漏率�?��10-7PaL/s、�/p>

3、蒸发源系统９�br />有机源蒸发源4个，容积5ml�?台蒸发电源，可测温控温，加热温度400℃，功率0.5Kw：�br />挡板：蒸发源挡板采用自动磁力控制方式，控制其开启；
安装：蒸发源安装在真空室的下底上、�/p>

4、样品架系统９�br />样品架可放置大小�?#934;120mm的样品，载玻片；

样品架可旋转，旋转速度为：0�?0�?分；
安装：样品安装在真空室的上盖上，蒸发源安装在真空室的下盖上，向上蒸发镀膜，蒸发源都带有挡板装置、�/p>

7� 5、无机蒸发源2套、容�?ml�?台蒸发电源，加热电流300A，功�?.2Kw：�br />8� 6、石英晶振膜厚控制仪：膜厚测量范�?-999999?、�/p>