试剂 半岛游戏平台官网入口网址 设备 原料
普通会员第 3
访问量: 1060538 网址:sykejing.cnreagent.com 在线留言
半岛bd体育手机客户端 搜索
其它实验室常用设备 >> 镀膜机
450型电子束蒸发镀膜系统
450型电子束蒸发镀膜系统图片
型号: 450
产地: 广东
索取资料及报价
型号: 450
产地: 广东
半岛bd体育手机客户端 介绍

450型电子束蒸发镀膜系统用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等,广泛应用于大专院校、科研机构的科研及小批量生产。

半岛bd体育手机客户端 型号

450型电子束蒸发镀膜系统

技术参数

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。

技术指标:

极限真空度:≤6.7×10 Pa

恢复真空时间:从1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min

系统漏率:6. 7×10-7Pa.L/S;

真空室:真空室500x500 x600mm采用U型箱体前开门,后置抽气系统e型电子枪:阳极电压:6kv、8kv(1套)

坩埚:水冷式坩埚,四穴设计,每个容量11ml

功率:0-6KW可调

电阻蒸发源(可选)

电压:5、10V

功率:电流300A,最大输出功率3Kw1套,可切换水冷电

极3根,组成2个蒸发舟

基片尺寸:可放置4″基片

样品台:基片可连续回转,转速5-60转/分基片与蒸发源之间距离300-350mm加热最高温度 800℃±1℃,可调手动控制样品挡板组件1套

气路系统:质量流量控制器1路

石英晶振膜厚控制仪:监测膜厚显示范围:0-99μ9999?

相关半岛bd体育手机客户端
我要咨询 关闭
  • 姓名*
  • 电话*
  • 单位*
  • email
  • 留言内容*
  • 验证码*
  • 让更多商家关注
  • Baidu
    map