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SE-VM光谱椭偏仪
半岛bd体育手机客户端 介绍
SE-VM 是一款高精度快速测量光谱椭偏仪。可通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量，快速实现光学参数薄膜和纳米结构的表征分析，适用于薄膜材料的快速测量表征。支持多角度，微光斑，可视化调平系统等高兼容性灵活配置，多功能模块定制化设计。 高精度椭偏测量解决方案；超高精度、快速无损测量；支持多角度、微光斑、可视化调平系统功能模块灵活定制；丰富的数据库和几何结构模型库，保证强大数据分析能力。 广泛应用于镀膜工艺控制、tooling校正等测量应用,实现光学薄膜、纳米结构的光学常数和几何特征尺寸快速的表征分析。
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