半岛bd体育手机客户端 简介：TF200薄膜厚度测量系统利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。
半岛bd体育手机客户端 型号 |
TF200-VIS |
TF200-EXR |
TF200-DUV |
TF200-XNIR |
主要特点 |
快速、准确、无损、灵活、易用、性价比高 |
应用领域 |
半导体（SiO2/SiNx、光刻胶、MEMS，SOI等） LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亚酰胺ITO等) LED (SiO2、光刻胶ITO等） 触摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率测试等) 汽车(防雾层、Hard Coating DLC等） 医学（聚对二甲苯涂层球囊/导尿管壁厚药膜等） |
波长范围 |
380-1050nm |
380-1700nm |
190-1100nm |
900-1700nm |
厚度范围 |
50nm-40um |
50nm-300um |
1nm-30um |
10um-3mm |
准确度（取决于材料0.4%或2nm之间取较大者） |
2nm |
2nm |
1nm |
10nm |
精度 |
0.2nm |
0.2nm |
0.2nm |
3nm |
入射角 |
90° |
90° |
90° |
90° |
样品材料 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
透明或半透明 |
测量模式 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
反射/透射 |
光斑尺寸（可选微光斑附件。） |
2mm |
2mm |
2mm |
2mm |
是否能在线 |
是 |
是 |
是 |
是 |
扫描选择 |
XY可选 |
XY可选 |
XY可选 |
XY可选 |
