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磁控溅射卷绕镀膜机
磁控溅射卷绕镀膜机图片
产地: 广东
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半岛bd体育手机客户端 简介:磁控溅射卷绕镀膜机是磁控溅射多用途卷绕镀膜设备,适用于在 PET 和无纺布上镀制金属膜(铜,铝等)功能性薄膜,设备采用先进的磁控溅射镀膜技术,配备直流、射频磁控溅射系统,适合镀制软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

技术参数

卷膜条件

镀膜材料:PET 和无纺布

适用制膜:软磁合金膜、金属膜、导电膜、合金膜、介质膜等。

基材厚度:125~300μm

有效镀膜宽幅:≤800 mm

最大卷绕直径:Φ400 mm

卷绕芯轴内径:4 寸

基材卷绕速度:1~2 m/min

基材卷绕张力:30 ~ 200 N

张力系统:交流伺服

溅镀方式:单面

真空条件

极限真空(空载、洁净):8×10-4Pa

恢复真空时间(空载、清洁):105Pa ~ 5×10-3Pa≤60 min

系统真空漏率:1.0×10-10 Pa.m3/s

磁控溅射阴极数量:3 个

膜均匀性偏差:≤±10%

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