VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪是一款紧凑型的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），控制面板采用触摸屏模式，基片极限尺寸为2″，放置样品的直径为Ø50mm，加热温度达500℃。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪可溅射金、银、铜三种靶材，不可以溅射轻金属和碳。本机采用旋转式样品台，能够依次在同一样品上涂覆三层薄膜，适用于实验室制备复膜的样品。VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪采用PLC控制面板对设备进行控制，操作方便直观。该机设备小巧，占用实验室空间少，操作简单，应用广泛。因此被广泛应用于各大高校及科研院所的实验室中。
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型号 | VTC-16-3HD 3靶等离子溅射仪 |
| 安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上）清洗，需自备氩气气瓶 4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通风装置：需要 |
主要特点 | 1、PLC控制面板，4.3″触摸屏，PID控温方式。 2、可控参数包括真空度、电流、靶材位置、基片加热温度。 3、可与真空泵、不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍连用。 4、已通过CE认证。 |
技术参数 | 1、输入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵） 2、输出功率：1600VDC 50mA（最大电流） 3、石英罩：Ø160mm×120mm 4、样品台：Ø50mm（可选购加热型样品台，最高温度可到500℃；最长溅射时间不可超过5min） 5、真空泵：120L/M旋片式真空泵 6、进气口：装有精密可调针阀，以实现方便的调节进气量 7、靶材：尺寸直径Ø47mm，厚度0.1mm-3mm；可溅射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可溅射氧化物、半导体、一些轻 金属、Al、Zn、C等 |
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规格 | 尺寸：360mm×350mm×3600mm；重量：50kg |
可选配件 | 1、KF25真空接口、卡箍 2、不锈钢波纹管（600mm） 3、旋片式真空泵（120L/M） 4、铂、银、锌等各种高纯度金属靶材 5、加热型样品台 |
