GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪配备了热蒸发附件,具有溅射和蒸发两种功能。不但可以用等离子溅射的方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或其他金属单质的薄膜。GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪能够满足扫描电子显微镜样品表面喷金、蒸金或蒸碳过程使用以及非导体材料实验电极的制作,也可以用于材料研究中各种新材料性能的实验。本机体积小,节省实验室空间,操作简单,清理方便,适合初学人员的使用,尤其适用于各大高校的实验室、科研院所、及各企业的实验室的使用、/p>
产品名称 |
GSL-1100X-SPC-16C溅射蒸镀膜仪 |
产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16C |
安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温?5?#177;15℃,湿度55%Rh10%Rh下使用、/p> 1、水:不需?/p> 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯?9.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀(/p> 4、工作台:尺?00mm600mm700mm,承?0kg以上 5、通风装置:不需?/p> |
主要特点 |
配备了热蒸发附件,可以蒸发碳丝或者其他材料,如铝、不锈钢等材料,同时具有溅射和蒸发的功能。因此扩展了应用范围,特别适用于扫描电镜样品表面喷金或蒸金、蒸碳使用、/p> |
技术参?/strong> |
1、靶?#216;50mm 2、样品台?#216;50mm 3、真空室?#216;160mm110mm 4、真空度?10-1mbar-210-2mbar 5、极限电流:50mA 6、可设定极限时间?999s 7、极限电压:1600V DC可调 8、真空泵?L两级机械旋转泵,极限真空210-2mbar(也可选配国产分子泵) |
产品规格 |
尺寸:L400mm x W310mm x H390mm 重量?0 kg |
标准配件 |
1 |
金靶杏/p> |
1?/p> |
2 |
碳绳 |
1核/p> |
3 |
钨丝?/p> |
2?/p> |
4 |
热蒸发附仵/p> |
1奖/p> |
5 |
进气针阀 |
1?/p> |
6 |
保险东/p> |
2?/p> |
可选配仵/strong> |
金、铟、银、白金等各种靶材 |