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Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV)

四(二甲氨基)钛(IV)

品牌
Strem
CAS
3275-24-9
货号
22-2240
规格纯度
99% TDMAT (99.99%-Ti)
价格
870 *本价格含增值税费
促销
服务
  • 原厂保证
  • 包邮
  • 增值税票
数量
- +
半岛bd体育手机客户端 名称:
3275-24-9
Tetrakis(dimethylamino)titanium(IV)
四(二甲氨基)钛(IV)
半岛bd体育手机客户端 介绍:

Technical Notes:

1.ALD/CVD precursor mainly used for TiN1, reviewand TiO2 based thin film depositions.

References:

1.J. Appl. Phys. 2013 1 13 021301 2

2.Microelectron Eng.2009 86 72. 3.J. Vac. Sci Tech. A. 2018 36 06A105. 4.Appl Surf. Sci 2018 462 1029.

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