[ 鐧诲綍] [ 鍏嶈垂娉ㄥ唽]
璇曞墏浠櫒缃? title=
浣嶇疆锛欬a href="/">棣栭〉> 瀹炵敤璧勬枡
鎵弿鐢甸暅锛圫EM锛夋垚鍍忓奖鍝嶇殑鍑犱釜鍥犵礌
2022.06.22 鐐瑰嚮2735娆狘/div>

鎵弿鐢靛瓙鏄惧井闀滐紝绠€绉颁负鎵弿鐢甸暅锛岃嫳鏂囩缉鍐欎负SEM(ScanningElectronMicroscope)銆傛壂鎻忕數瀛愭樉寰暅涓昏鏄埄鐢ㄤ簩娆$數瀛愪俊鍙锋垚鍍忔潵瑙傚療鏍峰搧鐨勮〃闈㈠舰鎬侊紝鍗崇敤鏋佺嫮绐勭殑鐢靛瓙鏉熷幓鎵弿鏍峰搧锛岄€氳繃鐢靛瓙鏉熶笌鏍峰搧鐨勭浉浜掍綔鐢ㄤ骇鐢熷悇绉嶆晥搴旓紝鍏朵腑涓昏鏄牱鍝佺殑浜屾鐢靛瓙鍙戝皠銆備簩娆$數瀛愯兘澶熶骇鐢熸牱鍝佽〃闈㈡斁澶х殑褰㈣矊鍍忥紝杩欎釜鍍忔槸鍦ㄦ牱鍝佽鎵弿鏃舵寜鏃跺簭寤虹珛璧锋潵鐨勶紝鍗充娇鐢ㄩ€愮偣鎴愬儚鐨勬柟娉曡幏寰楁斁澶у儚銆係EM涓昏缁勬垚閮ㄥ垎鏄細鐢靛瓙鍏夊绯荤粺锛屼俊鍙锋敹闆嗗鐞嗙郴缁燂紝鍥惧儚鏄剧ず鍜岃褰曠郴缁燂紝鐪熺┖绯荤粺锛岀數婧愬強鎺у埗绯荤粺绛夈€侟/p>

褰卞搷鎵弿鐢甸暅(SEM)鎴愬儚鐨勫嚑涓洜绱狅細

1銆佸垎杈ㄧ巼

褰卞搷鎵弿鐢甸暅鐨勫垎杈ㄦ湰棰嗙殑涓昏鍥犵礌鏈夛細

A銆佸叆灏勭數瀛愭潫鏉熸枒鐩村緞

涓烘壂鎻忕數闀滃垎杈ㄦ湰棰嗙殑鏋侀檺銆備竴鑸紝鐑槾鏋佺數瀛愭灙鐨勬渶灏忔潫鏂戠洿寰勫彲缂╁皬鍒?nm锛屽満鍙戝皠鐢靛瓙鏋彲浣挎潫鏂戠洿寰勫皬浜?nm銆侟/p>

B銆佸叆灏勭數瀛愭潫鍦ㄦ牱鍝佷腑鐨勬墿灞曟晥搴擖/p>

鎵╂暎绋嬪害鍙栧喅浜庡叆灏勬潫鐢靛瓙鑳介噺鍜屾牱鍝佸師瀛愬簭鏁扮殑楂樹綆銆傚叆灏勬潫鑳介噺瓒婇珮锛屾牱鍝佸師瀛愬簭鏁拌秺灏忥紝鍒欑數瀛愭潫浣滅敤浣撶Н瓒婂ぇ锛屼骇鐢熶俊鍙风殑鍖哄煙闅忕數瀛愭潫鐨勬墿鏁h€屽澶э紝浠庤€岄檷浣庝簡鍒嗚鲸鐜?

C銆佹垚鍍忔柟寮忓強鎵€鐢ㄧ殑璋冨埗淇″彿

褰撲互浜屾鐢靛瓙涓鸿皟鍒朵俊鍙锋椂锛岀敱浜庡叾鑳介噺浣?灏忎簬50 eV)锛屽钩鍧囪嚜鐢辩▼鐭?10锝?00 nm宸﹀彸)锛屽彧鏈夊湪琛ㄥ眰50锝?00 nm鐨勬繁搴﹁寖鍥村唴鐨勪簩娆$數瀛愭墠鑳介€稿嚭鏍峰搧琛ㄩ潰锛屽彂鐢熸暎灏勬鏁板緢鏈夐檺锛屽熀鏈湭鍚戜晶鍚戞墿灞曪紝鍥犳锛屼簩娆$數瀛愬儚鍒嗚鲸鐜囩害绛変簬鏉熸枒鐩村緞銆傚綋浠ヨ儗鏁e皠鐢靛瓙涓鸿皟鍒朵俊鍙锋椂锛岀敱浜庤儗鏁e皠鐢靛瓙鑳介噺姣旇緝楂橈紝绌块€忚兘鍔涘己锛屽彲浠庢牱鍝佷腑杈冩繁鐨勫尯鍩熼€稿嚭(绾︿负鏈夋晥浣滅敤娣卞害鐨?0%宸﹀彸)銆傚湪姝ゆ繁搴﹁寖鍥达紝鍏ュ皠鐢靛瓙宸叉湁浜嗙浉褰撳鐨勪晶鍚戞墿灞曪紝鎵€浠ヨ儗鏁e皠鐢靛瓙鍍忓垎杈ㄧ巼瑕佹瘮浜屾鐢靛瓙鍍忎綆锛屼竴鑸湪500锝?000nm宸﹀彸銆傚鏋滀互鍚告敹鐢靛瓙銆乆灏勭嚎銆侀槾鏋佽崸鍏夈€佹潫鎰熺敓鐢靛鎴栫數浣嶇瓑浣滀负璋冨埗淇″彿鐨勫叾浠栨搷浣滄柟寮忥紝鐢变簬淇″彿鏉ヨ嚜鏁翠釜鐢靛瓙鏉熸暎灏勫尯鍩燂紝鎵€寰楁壂鎻忓儚鐨勫垎杈ㄧ巼閮芥瘮杈冧綆锛屼竴鑸湪1000 nm鎴?0000nm浠ヤ笂涓嶇瓑銆侟/p>

2銆佹斁澶у€嶆暟

鎵弿鐢甸暅鐨勬斁澶у€嶆暟鍙〃绀轰负M =Ac/As寮忎腑锛孉c鈥旇崸鍏夊睆涓婂浘鍍忕殑杈归暱锛汚s鈥旂數瀛愭潫鍦ㄦ牱鍝佷笂鐨勬壂鎻忔尟骞呫€備竴鑸湴锛孉c鏄浐瀹氱殑(閫氬父涓?00 mm)锛屽垯鍙€氳繃鏀瑰彉As鏉ユ敼鍙樻斁澶у€嶆暟銆傜洰鍓嶏紝澶у鏁板晢鍝佹壂鎻忕數闀滄斁澶у€嶆暟涓?0锝?0锛?00鍊嶏紝浠嬩簬鍏夊鏄惧井闀滃拰閫忓皠鐢甸暅涔嬮棿锛屽嵆鎵弿鐢甸暅寮ヨˉ浜嗗厜瀛︽樉寰暅鍜岄€忓皠鐢甸暅鏀惧ぇ鍊嶆暟鐨勭┖鎸°€侟/p>

3銆佹櫙娣包/strong>

鏅繁鏄寚鐒︾偣鍓嶅悗鐨勪竴涓窛绂昏寖鍥达紝璇ヨ寖鍥村唴鎵€鏈夌墿鐐规墍鎴愮殑鍥惧儚绗﹀悎鍒嗚鲸鐜囪姹傦紝鍙互鎴愭竻鏅扮殑鍥惧儚锛涗篃鍗筹紝鏅繁鏄彲浠ヨ鐪嬫竻鐨勮窛绂昏寖鍥淬€傛壂鎻忕數瀛愭樉寰暅鐨勬櫙娣辨瘮閫忓皠鐢靛瓙鏄惧井闀滃ぇ10鍊嶏紝姣斿厜瀛︽樉寰暅澶у嚑鐧惧€嶃€傜敱浜庡浘鍍忔櫙娣卞ぇ锛屾墍寰楁壂鎻忕數瀛愬儚瀵屾湁绔嬩綋鎰熴€傜數瀛愭潫鐨勬櫙娣卞彇鍐充簬涓寸晫鍒嗚鲸鏈d0鍜岀數瀛愭潫鍏ュ皠鍗婅伪c銆傚叾涓紝涓寸晫鍒嗚鲸鏈涓庢斁澶у€嶆暟鏈夊叧锛屽洜浜虹溂鐨勫垎杈ㄦ湰棰嗙害涓?.2 mm锛屾斁澶у悗锛岃浣夸汉鎰熻鐗╁儚娓呮櫚锛屽繀椤讳娇鐢靛瓙鏉熺殑鍒嗚鲸鐜囬珮浜庝复鐣屽垎杈ㄧ巼d0锛氱數瀛愭潫鐨勫叆灏勮鍙€氳繃鏀瑰彉鍏夐槕灏哄鍜屽伐浣滆窛绂绘潵璋冩暣锛岀敤灏忓昂瀵哥殑鍏夐槕鍜屽ぇ鐨勫伐浣滆窛绂诲彲鑾峰緱灏忕殑鍏ュ皠鐢靛瓙瑙掋€侟/p>

4銆佽‖搴?/strong>

鍖呮嫭锛氳〃闈㈠舰璨岃‖搴﹀拰鍘熷瓙搴忔暟琛害銆傝〃闈㈠舰璨岃‖搴︾敱璇曟牱琛ㄩ潰鐨勪笉骞虫暣鎬у紩璧枫€傚師瀛愬簭鏁拌‖搴︽寚鎵弿鐢靛瓙鏉熷叆灏勮瘯绁ユ椂浜х敓鐨勮儗鏁e皠鐢靛瓙銆佸惛鏀剁數瀛愩€乆灏勭嚎锛屽寰尯鍐呭師瀛愬簭鏁扮殑宸紓鐩稿綋鏁忔劅銆傚師瀛愬簭鏁拌秺澶э紝鍥惧儚瓒婁寒銆備簩娆$數瀛愬彈鍘熷瓙搴忔暟鐨勫奖鍝嶈緝灏忋€傞珮鍒嗗瓙涓悇缁勫垎涔嬮棿鐨勫钩鍧囧師瀛愬簭鏁板樊鍒笉澶э紱鎵€浠ュ彧鏈夆€斾簺鐗规畩鐨勯珮鍒嗗瓙澶氱浉浣撶郴鎵嶈兘鍒╃敤杩欑琛害鎴愬儚銆侟/p>

鐩稿叧璧勬枡
Baidu
map