鐭冲ⅷ鐑彧鏈変竴涓師瀛愬眰鍘氬害锛屼篃灏辨槸0.335nm锛屽嚑涔庢槸閫忔槑鐨勶紙閫忓厜搴︿负97.7%锛夛紝涓€鑸儏鍐典笅鑲夌溂鏄湅涓嶈鐨勩€侟/span>

鑱槑鐨勭瀛﹀鎯冲嚭浜嗗悇绉嶆柟娉曟潵瑙傚療杩欎釜鐗规畩鐨勪簩缁寸撼绫虫潗鏂欍€傞櫎鍘诲悇绉嶉珮绮惧瘑鐨勪华鍣ㄨ澶囷紝姣斿鍘熷瓙鍔涙樉寰暅锛屾壂鎻忕數闀滐紝鎷夋浖鍏夎氨浠瓑銆傞偅涔堬紝鏄惁鏈夋洿绠€鍗曠殑鏂规硶鍜岃澶囷紝璁╂櫘閫氫汉閮借兘瑙傚療鍒扮煶澧ㄧ儻钖勮啘鍛紵

绛旀鏄湁鐨勶紒

濡傛灉鎶婄煶澧ㄧ儻杞Щ鍦ㄧ壒瀹氱殑鏌愪簺琛簳涓婇潰锛岃倝鐪煎氨鑳借瀵熷埌鐭冲ⅷ鐑杽鑶滀簡銆傝繖绉嶇壒娈婄殑琛簳闇€瑕佸叿澶囧摢浜涚壒鐐瑰憿锛烖/span>

鏈€甯哥敤鐨勪竴绉嶈‖搴曟槸闀€鏈変簩姘у寲纭呮哀鍖栧眰鐨勫崟鏅剁琛簳銆傜爺绌跺彂鐜板皢鐭冲ⅷ鐑浆绉诲埌杩欑鐗规畩琛簳涓婏紝鍒╃敤鍗曞眰鐭冲ⅷ鐑拰姘у寲灞傚鍏夌嚎浜х敓骞叉秹锛屽鐗瑰畾娉㈤暱鐨勫彲瑙佸厜鏈夊弽灏勫寮烘晥搴旓紝璋冩帶浜屾哀鍖栫姘у寲灞傜殑鍘氬害锛屽氨鍙互閫夋嫨瀵规煇绉嶉鑹茬殑鍙鍏夊叿鏈夋渶澶х殑鍙嶅皠澧炲己鏁堝簲锛屼粠鑰岃倝鐪煎彲浠ュ垎杈ㄥ嚭鐭冲ⅷ鐑杽鑶滐紝鍒╃敤鏅€氱殑鍏夊鏄惧井闀滃氨鑳借瀵熷埌鐭冲ⅷ鐑〃闈㈢殑褰㈣矊鐗瑰緛銆侟/span>

绌烘皵鈥旂煶澧ㄧ儻鈥斾簩姘у寲纭呬笁灞備粙璐ㄥ厜骞叉秹绀烘剰鍥近/span>

璋冩暣姘у寲灞傜殑鍘氬害鍒?0nm 鎴?80nm锛屽湪娉㈤暱涓?50nm澶勶紝鍙嶅皠鍏夊己搴﹁揪鍒版渶澶у€硷紝鐭冲ⅷ鐑拰琛簳鐨勫姣斿害楂樿揪12%锛屼汉鐪肩殑鏁忔劅搴︿篃杈惧埌鏈€澶с€傚€熷姪鍏夊鏄惧井闀滐紝鍒╃敤鐭冲ⅷ鐑墖鍜屽懆鍥寸鐗囩殑棰滆壊宸紓浠ュ強瀵规瘮搴︿笉鍚岋紝鍙互纭畾鐭冲ⅷ鐑墍鍦ㄧ殑浣嶇疆鍜屽昂瀵稿ぇ灏忋€傚叾涓紝浜屾哀鍖栫鍘氬害涓?00nm鏃讹紝鍦ㄧ櫧鍏夊拰缁垮厜涓嬮兘鑳芥竻妤氬垎杈ㄧ煶澧ㄧ儻銆傚挨鍏跺湪缁垮厜560nm娉㈤暱涓嬶紝鏍规嵁棰滆壊娣辨祬锛岃繕鍙互鍒ゅ畾鐭冲ⅷ鐑墖鐨勫眰鏁般€傚洜姝わ紝鍏夊鏄惧井闀滄垚涓虹洰鍓嶈〃寰佺煶澧ㄧ儻灞傛暟鏈€鐩磋鏈夋晥鐨勬柟娉曘€侟/span>