棰滄枡涓庡～鏂欐槸鏈夊緢澶у尯鍒殑锛屼絾杩樻槸鏈夎浜烘悶涓嶆噦鎽镐笉娓呯殑鏃跺€欍€傚挨鍏舵槸鐧借壊棰滄枡鍜屽～鏂欍€傞鏂欏拰濉枡鐨勫簲璇ョ敤寰堝箍娉涳紝濡傚鏂欍€佹秱鏂欍€佹补澧ㄧ瓑銆傚叾涓秱鏂欎腑涓よ€呯殑搴旂敤璁ㄨ闈炲父澶氾紝杩欓噷灏遍鏂欏拰濉枡鍦ㄦ秱鏂欎腑鐨勫簲鐢ㄥ仛涓€涓畝鍗曟€荤粨銆傞鏂欎笌濉枡鐨勫畾涔夐鏂欐槸涓€绫绘湁鑹?鍚櫧鑹?鐨勫井缁嗛绮掔姸鐗╄川锛屼笉婧朵簬鍒嗘暎浠嬭川涓紝鏄互鍏垛€滈绮掆€濆睍鐜板叾棰滆壊(绠€绉扳€滈鑹插彂鑹测€?涓虹壒寰佺殑涓€绫绘棤鏈烘垨鏈夋満鐗╄川銆傞鏂欑殑绮掑害鑼冨洿閫氬父浠嬩簬30nm-100渭m涔嬮棿銆傞鏂欑殑棰滆壊銆侀伄鐩栨€с€佺潃鑹插姏鍙婂叾浠栫壒寰佷笌鍏跺湪浠嬭川涓殑鍒嗘暎鐘舵€?棰滄枡棰楃矑鍦ㄤ粙璐ㄤ腑鐨勫瓨鍦ㄧ姸鎬?鏈夋瀬澶х殑鐩稿叧鍏崇郴銆傞鏂欎腑鐨勬湁鏈洪鏂欎笌鏌撴枡鏈夊緢澶氱浉浼间箣澶勶紝鍏舵渶鏍规湰鐨勫尯鍒湪浜庯紝鏌撴枡鏄彲婧惰В鍦ㄥ垎鏁ｄ粙璐ㄤ腑锛屼互鍏垛€滃垎瀛愬熀鍥犫€濆睍鐜板叾棰滆壊(绠€绉扳€滃垎瀛愬彂鑹测€?鐨勩€傚～鏂欐槸涓€绫诲湪浠嬭川涓互濉厖涓轰富瑕佷綔鐢ㄧ殑寰粏绮掔姸鐗╄川锛屼笉婧朵簬鍒嗘暎浠嬭川涓紝涔熺О浣撹川棰滄枡銆傚～鏂欏共绮夌殑澶栬澶у涓虹櫧鑹叉垨娴呯伆鑹诧紝涓€鑸叾鍦ㄤ粙璐ㄤ腑閬洊鍔涖€佹秷鑹插姏鍧囧緢浣庛€傞€氳繃鍦ㄤ粙璐ㄤ腑鍔犲叆濉枡锛屽彲鏈夋晥鏀瑰彉浠嬭川涓潪棰滆壊鎬х殑鐗╃悊鍜屽寲瀛︽€ц川銆傞鏂欏拰濉枡鍧囦负娑傛枡鐨勯噸瑕佺粍鎴愰儴鍒嗭紝鏍规嵁娑傛枡浣跨敤瑕佹眰锛岄鏂欎笌濉枡鐨勫姞鍏ュ搧绉嶃€佹暟閲忔湁鎵€涓嶅悓锛屾湁鐢ㄥ崟涓€鐨勶紝涔熸湁鐢ㄤ袱涓夌澶嶅悎鐨勩€傚鏉傛椂瑕佺敤鍗佸绉嶆惌閰嶄娇鐢紱娣诲姞鏁伴噺浠庣櫨鍒嗕箣鍑犲埌鐧惧垎涔嬪嚑鍗侊紝鐢氳嚦楂樿揪60%浠ヤ笂銆傝繖浜涢鏂欎笌濉枡涓嶄粎鑳戒繚璇佹秱鏂欏叿鏈夎壇濂界殑閬洊鍔涖€佷赴瀵岀殑鑹插僵锛岃繕鑳借祴浜堟秱鑶滀笌鏂藉伐鍚勯」鍏朵粬鐗规畩鍔熸晥銆備綔涓烘秱鏂欑敤鐨勯鏂欎笌濉枡蹇呴』瀵瑰垎鏁ｆ€с€佺櫧搴︺€侀鏂欍€侀伄鐩栧姏銆佺潃鑹插姏銆佸惛娌归噺銆佺矑搴﹀垎甯冦€佽€愰吀纰辨€с€佽€愬厜鎬с€佽€愬€欐€у強鑰愭俯鎬х瓑鏍规嵁鐢ㄩ€旇繘琛岃瀹氥€侟br/>銆€銆€棰滄枡涓庡～鏂欑殑浣滅敤
銆€銆€1銆侀鏂欑殑浣滅敤棰滄枡鏄秱鏂欒壊婕嗙敓浜т腑涓嶅彲缂哄皯鐨勬垚鍒嗕箣涓€銆傚叾浣滅敤闄や簡涓烘秱鑶滄彁渚涜壊褰╄楗板锛岃繕鍙互涓烘秱鏂欐彁渚涙洿澶氱殑鐗╃悊鍜屽寲瀛︽€ц兘鐨勬敼鍠勶紝濡傞伄鐩栨€с€佽€愬厜鎬с€佽€愬€欐€с€佽€愭俯鎬с€佽€愬寲瀛﹁嵂鍝佹€с€佸厜娉藉強鏈烘寮哄害绛夈€傚湪娑傛枡涓娇鐢ㄥ姛鑳芥€ч鏂欏彲浠ヨ祴浜堟秱鏂欑壒娈婃€ц兘锛屽鐗圭瑁呴グ鏁堟灉(閲戝睘璐ㄦ劅銆佺彔鍏夊厜娉姐€佸鍏夈€佽崸鍏夌瓑)銆侀槻鑵愩€侀槻鐏€佸鐢点€佹姉闈欑數銆佺ず娓╃瓑鐗圭鍔熻兘銆侟br/>銆€銆€2銆佸～鏂欑殑浣滅敤
銆€銆€濉枡鍦ㄦ秱鏂欎腑涓昏鐨勪綔鐢ㄦ湁涓ゆ柟闈細涓€鏄～鍏呬綔鐢紝闄嶄綆鎴愭湰锛涗簩鏄€氳繃鍔犲叆濉枡鏀瑰彉娑傝啘鎴栨紗鏂欑殑鐗╃悊鍜屽寲瀛︽€ц川銆傜幇浠ｆ秱鏂欐妧鏈洿鍔犻噸瑙嗗～鏂欑殑绗簩鏂归潰鐨勪綔鐢紝濡傞€夋嫨涓嶅悓绉嶇被鍜屾暟閲忕殑濉枡锛屽彲鏈夋晥鏀瑰杽娑傛枡鐨勮串瀛樻€ц兘鍜屾柦宸ユ€ц兘锛屾彁楂樻秱鑶滅殑鏈烘寮哄害銆佽€愮（鎬с€佽€愭按鎬с€佹姉绱绾挎€с€侀殧鐑€у拰鎶楅緹瑁傜瓑銆備笌棰滄枡鐩告瘮锛屽ぇ閮ㄥ垎濉枡鍏锋湁鎴愭湰浣庛€佸惛娌归噺浣庡拰杈冩槗鍒嗘暎绛変紭鐐广€傞鏂欎笌濉枡鍦ㄦ秱鏂欎腑鐨勪綔鐢ㄩ鏂欎笌濉枡鐨勫垎绫婚鏂欐寜鍖栧缁勬垚鍒嗙被锛屽彲鍒嗕负鏈夋満棰滄枡鍜屾棤鏈洪鏂欙紝鏃犳満棰滄枡涓昏鍖呮嫭鐐粦銆侀搧銆侀攲銆侀摤銆侀晧鍜岄挍绛夐噾灞炵殑姘у寲鐗╁拰鐩愶紱鏈夋満棰滄枡鍙垎涓哄伓姘鏂欑被(鍗曞伓姘€佸弻鍋舵爱)銆佽壊娣€绫汇€侀摐閽涢潚绫汇€佺鐜被鍙婃湁鏈哄ぇ鍒嗗瓙棰滄枡銆傚～鏂欎篃鏈夋棤鏈虹被濉枡鍜屾湁鏈虹被濉枡锛屾棤鏈虹被濉枡涓昏浠ュぉ鐒剁熆鐗╀负鍘熸枡缁忚繃寮€閲囥€佸姞宸ュ埗鎴愮殑棰楃矑鐘跺～鏂欙紝灏戞暟濉枡鏄粡杩囧鐞嗗埗鎴愮殑銆傚叾鏈夋哀鍖栫鍙婄閰哥洂銆佺⒊閰哥洂鍙婄⒊鍖栫墿銆佺～閰哥洂鍙婄～鍖栫墿銆侀挍閰哥洂銆佹哀鍖栫墿鍙婃阿姘у寲鐗┿€侀噾灞炵被绛夈€傛湁鏈虹被濉枡鏄寚澶╃劧鐨勫姩妞嶇墿鍙婁汉宸ュ悎鎴愮殑鏈夋満鏉愭枡鍒舵垚鐨勶紝濡傚啀鐢熺氦缁寸礌銆佸悎鎴愭爲鑴傜瓑銆侟/span>