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Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)

四(二甲基氨基)铪 (Ⅳ)

品牌
Sigma-Aldrich
CAS
19782-68-4
货号
666610
规格纯度
packaged for use in deposition systems
价格
25165.7 *本价格含增值税费
促销
服务
  • 原厂保证
  • 包邮
  • 增值税票
数量
- +
半岛bd体育手机客户端 名称:
19782-68-4
Tetrakis(dimethylamido)hafnium(IV)
Tetrakis(dimethylamino)hafnium(IV)
TDMAH
四(二甲基氨基)铪 (Ⅳ)
四(二甲胺基)铪(IV)
半岛bd体育手机客户端 介绍:

半岛bd体育手机客户端 说明

一般描述

铪烷基酰胺是制备平滑非晶氧化铪薄膜的一种简便有效的原子层沉积前驱体。

应用

用作氧化铪纳米层压板的原子层沉积的前体,其用作半导体器件中的氧化硅的替换物。
为沉积系统包装的前体

包装

25 g in stainless steel cylinder

基本信息

线性分子式 [(CH3)2N]4Hf
分子量 354.79
MDL编号 MFCD01862473
PubChem化学物质编号 24884811
NACRES NA.23

半岛bd体育手机客户端 性质

质量水平 100
测定 ≥99.99% (trace metals analysis)
形式 low-melting solid
reaction suitability core: hafnium
mp 26-29 ℃ (lit.)
密度 1.098 g/mL at 25 ℃
SMILES string CN(C)[Hf](N(C)C)(N(C)C)N(C)C
InChI 1S/4C2H6N.Hf/c4*1-3-2;/h4*1-2H3;/q4*-1;+4
InChI key ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N

安全信息

象形图 GHS02GHS05
警示用语: Danger
危险声明 H228 - H261 - H314
预防措施声明 P210 - P231 + P232 - P280 - P305 + P351 + P338 - P370 + P378 - P402 + P404
危险分类 Flam. Sol. 1 - Skin Corr. 1B - Water-react. 2
补充剂危害 EUH014
储存分类代码 4.3 - Hazardous materials, which set free flammable gases upon contact with water
WGK WGK 3
闪点(F) 109.4 °F - closed cup
闪点(C) 43 ℃ - closed cup
个人防护装备 Eyeshields, Faceshields, Gloves, type P1 (EN143) respirator filter, type P3 (EN 143) respirator cartridges

Sigma-Aldrich

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