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Buffered oxide etchant (BOE) 10:1

缓冲HF

品牌
Sigma-Aldrich
货号
901621
包装型号
规格纯度
价格
1594 *本价格含增值税费
促销
服务
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数量
- +
半岛bd体育手机客户端 名称:
Buffered oxide etchant (BOE) 10:1
Buffered HF
BHF
缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1
缓冲HF
半岛bd体育手机客户端 介绍:

半岛bd体育手机客户端 说明

一般描述

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE)是一种用于微细加工的湿蚀刻剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅(SiO2)或氮化硅(Si3N4)薄膜。它是一种缓冲剂的混合物,例如氟化铵(NH4F)和氢氟酸(HF)。浓缩HF对二氧化硅的蚀刻速度太快,无法实现良好的工艺控制,并且还会剥离用于光刻图案化的光刻胶。

应用

缓冲氧化物蚀刻剂(BOE) 10:1可用于刻蚀微机电系统 (MEMS)用碳化钛。也可用于旋涂掺杂材料(SOD)的蚀刻,用于开发导体-绝缘体-导体隧穿二极管。它还用于提高熔融石英器件的表面质量。

半岛bd体育手机客户端 性质

形式 liquid

安全信息

象形图 GHS05GHS06
警示用语: Danger
危险声明 H300 + H310 + H330 - H314
预防措施声明 P260 - P270 - P280 - P303 + P361 + P353 - P304 + P340 + P310 - P305 + P351 + P338
危险分类 Acute Tox. 1 Dermal - Acute Tox. 2 Inhalation - Acute Tox. 2 Oral - Eye Dam. 1 - Skin Corr. 1A
储存分类代码 6.1B - Non-combustible, acute toxic Cat. 1 and 2 / very toxic hazardous materials
WGK WGK 2
闪点(F) Not applicable
闪点(C) Not applicable

Sigma-Aldrich

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