一、功能特点

1. 光机电一体化设计，外形结构简单；2. 扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；3. 精密激光检测及探针定位装置，光斑调节简单，操作方便；4. 采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；5. 伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域精确定位；6. 高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；7. 高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；8. 采用伺服马达控制CCD对焦和光学放大；9. 模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；10. 集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用。

二、友好的软件

1. 可观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像

2. 具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式

3. 多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图

4. 多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS(f-RMS)、RMS-间隙(RMS-Z)测量功能

5. 可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域

6. 激光光斑检测系统的实时调整功能

7. 针尖共振峰自动和手动搜索功能

8. 可任意定义扫描图像的色板功能

9. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能

10. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正

11. 支持样品图片离线分析与处理功能

三、技术规格

名 称	参 数	名 称	参 数
工作模式	接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力	扫描角度	任意
样品尺寸	Φ≤90mm，H≤20mm	样品移动范围	0～20mm
*大扫描范围	横向50um，纵向5um	光学放大倍数	10X
扫描分辨率	横向0.2nm，纵向0.05nm	光学分辨率	1um
扫描速率	0.6Hz～4.34Hz	图像采样点	256×256，512×512
扫描控制	XY采用18-bit D/A Z采用16-bit D/A	反馈方式	DSP数字反馈
数据采样	14-bit A/D、双16-bit A/D 多路同步采样	反馈采样速率	64.0KHz
半岛游戏平台官网入口网址 重量体积	40KG，700′480′450mm	计算机接口	USB2.0
运行环境	运行于WindowsXP/7/8操作系统