MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界××的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。
优势所在:
? 可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
? 热插拔电池-百分百确保半岛游戏平台官网入口网址 长时间连续运行
由于半岛游戏平台官网入口网址 使用的是热插拔电池,故无论半岛游戏平台官网入口网址 是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
? 测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误
? 顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
? 灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作
? 直观的用户界面
简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!
? 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
专用于满足特殊颗粒计数要求,半岛游戏平台官网入口网址 与半岛游戏平台官网入口网址 之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。
半岛bd体育手机客户端 参数:
通道个数 |
6 |
粒径 |
0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0? |
光源 |
氦氖激光器 |
重量 |
不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤 |
尺寸 |
33 W × 55.9 D × 22.9 H cm (宽 × 长 × 高) |
机箱材质 |
便于清洗的钝化不锈钢 |
流速 |
1.0 CFM (28.3 LPM) |
零计数 |
ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间 |
符合损失 |
在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准 |
泵的类型 |
可供连续使用的专利的多瓣闭路循环控制泵 |
计数效率 |
在0.1 ?m时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15?m时为 100% |
运行温度 |
10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝 |
显示 |
1/4VGA 彩色 TFT 触摸屏 |
打印机 |
高速热敏打印机 |
语言 |
英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文 |
可以显示的最大数值 |
9,999,999 displayed |
延迟时间 |
15秒钟至23小时59分59秒 |
采样/停留时间 |
1秒钟至23小时59分59秒 |
计数警报 |
1~ 9,999,999 个计数值 |
位置 |
编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上 |
数据存储 |
5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow) |
输出 |
USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有 802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头) |
锂电池,可充电、可热插拔 |
Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX |
输入 |
空气速度探头,相对湿度/温度探头 |
自动 CDA 清洗 |
连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活 |
电源 |
24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器 |
电池类型 |
智能锂电池,可充电,可热插拔 |
电池使用时间 |
最短 3 小时 |
电池的充电时间 |
电池的充电时间 |
包含电池数量 |
2组 |
随附配件:
部件编号 |
描述 |
2087966-01 |
等动力探头1.00 CFM,镀镍铝制3/8“倒钩接头 |
960380 |
样品管,内径 3/8” ,长 10英尺 |
2088035-01 |
等动力探头适配器,铝制 |
970650 |
等动力探头三脚架 |
230-300-7052 |
24VDC电源输出 |
VP623500 |
电源线:115VAC, 6' L |
VP623501 |
电源线:115VAC, 6' L |
2087939-01 |
零计数过滤器 1CFM |
2087090 |
PortAll 软件,CD |
460519 |
打印纸,2卷 |
280-120-2024 |
2组锂电池 |
210-400-5171 |
触摸屏手写笔 |
2088010-01 |
128M USD闪存驱动 |
410-150-0011 |
3针微型接线端子 |
410-420-0020 |
接线端子罩壳 |
490-200-0001 |
无线天线,附带无线版本P / N 2088800-02 |
可选配件:
部件编号 |
描述 |
CAL_GAS_3411 |
3411型的气体校准,包括氦、氩、二氧化碳和氮气 |
701241-01 |
3400系列IQ / OQ 验证文件(CD) |
2087966-02 |
等动力探头1.0 CFM,不锈钢制3/8“倒钩接头 |
2089406-01 |
等动力探头支架 |
460519 |
打印纸(价格以每卷计) |
280-300-5000 |
智能电源充电器 |
280-120-2024 |
智能锂电池 |
2088928 |
温度和相对湿度探针VAISALA HMP50 |
2087939-01 |
零点计数过滤器(1.0 CFM型) |
460-400-4798 |
电缆,USB2.0 高速,1m |
2084045-02 |
Particle Vision PortAll, 2.0.x版,套件,下载工具软件,适配器和说明书 (串行电缆需单独购买) |
700011-21 |
PortAll 许可标准版 |
2088000-01 |
过滤器扫描探头(电子式)1 CFM |
2088000-02 |
过滤器扫描探头(无电子式)1 CFM |
2088012-02 |
适配器,USB转RS232,USB线缆 |
2088012-01 |
适配器,USB转RS485,USB线缆 |
2080732-8 |
高压扩散器,用于 1.0 CFM 设备。 |
应用领域:
专应用于半导体行业的空气颗粒计数:
? 洁净室验证监测
? 洁净室的分级
? ISO14644洁净室验证
? 洁净室颗粒物监测
? 生产过程的连续监测
? 颗粒污染源的排除过程
? HEPA过滤器检漏,粒径大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
? 过滤器扫描
? 高压气体监测可简单地通过气体选择菜单选择相应气体,流量会自动调整
空气颗粒计数器生命科学标准及委员会:
? 国际标准化组织 (ISO)
? ISO14644洁净室及相关受控环境
? ISO 21501颗粒分布测确定--用于无尘空间的光散射颗粒计数器
? 环境科学与技术研究所 (IEST)