鐢靛瓙鏉熸洕鍏夋妧鏈槸鍦ㄨ绠楁満鎺у埗涓嬶紝鎸夌収鍔犲伐瑕佹眰鐨勫浘褰紝鍒╃敤鑱氱劍鍚庣殑鐢 瀛愭潫瀵瑰熀鐗囦笂鐨勬姉铓€鍓傝繘琛屾洕鍏夛紝鍦ㄦ姉铓€鍓備腑浜х敓鍏锋湁涓嶅悓婧惰В鎬ц兘鐨勫尯鍩燂紝鏍 鎹笉鍚屽尯鍩熺殑婧惰В鐗规€э紝鍒╃敤鍏锋湁閫夋嫨鎬х殑鏄惧奖鍓傝繘琛屾樉褰憋紝婧惰В鎬у己鐨勬姉铓€鍓 閮ㄥ垎琚幓闄わ紝婧惰В鎬у樊鎴栦笉婧剁殑閮ㄥ垎淇濈暀涓嬫潵锛屽氨鍙互寰楀埌鎵€闇€瑕佺殑鎶楄殌鍓傚浘褰€€侟/span>

鐢靛瓙鏉熷厜鍒讳腑浣跨敤鐨勬洕鍏夋満涓€鑸湁涓ょ绫诲瀷锛氱洿鍐欏紡涓庢姇褰卞紡銆傜洿鍐欏紡灏辨槸鐩存帴灏嗕細鑱氱殑鐢靛瓙鏉熸枒鎵撳湪琛ㄩ潰娑傛湁鍏夊埢鑳剁殑琛簳涓婏紝涓嶉渶瑕佸厜瀛﹀厜鍒诲伐鑹轰腑鏈€鏄傝吹鍜屽埗澶囪垂鏃剁殑鎺╄啘锛涙姇褰卞紡鍒欐槸閫氳繃楂樼簿搴︾殑閫忛暅绯荤粺灏嗙數瀛愭潫閫氳繃鎺╄啘鍥惧舰骞宠鍦扮缉灏忔姇褰卞埌琛ㄩ潰娑傛湁鍏夊埢鑳剁殑琛簳涓娿€侟br/> 涓€鑸洿鍐欏紡鏇濆厜鏈轰富瑕佷娇鐢ㄧ殑鏄儹鍦哄彂灏勬簮(琛ㄩ潰闀€ZrO鐨勯挩閲戝睘閽堝皷)锛屽伐浣滄俯搴﹀湪1800K锛屽拰鍐峰満鍙戝皠婧愮浉姣斿彲浠ユ湁鏁堝湴闃叉閽堝皷鐨勬薄鏌撳苟鎻愪緵绋冲畾鐨勫厜婧愩€傜數瀛愭簮鍙戝皠鍑烘潵鐨勭數瀛愭潫鐨勮仛鐒﹀拰鍋忚浆鏄湪闀滅瓛涓畬鎴愮殑銆傞暅绛掗€氬父鍖呭惈鏈夊厜闃戙€佺數瀛愰€忛暅銆佹尅鏉裤€佸儚鏁ｆ牎姝ｅ櫒鍜屾硶鎷夌鐢垫祦娴嬮噺绛掔瓑瑁呯疆銆傚厜闃戠殑浣滅敤涓昏鏄瀹氱數瀛愭潫鐨勪細鑱氳鍜岀數瀛愭潫鐢垫祦銆傜數瀛愰€忛暅鐨勪綔鐢ㄦ槸閫氳繃闈欑數鍔涙垨鏄鍔涙敼鍙樼數瀛愭潫鐨勮繍鍔ㄣ€傜數瀛愰€忛暅绫讳技鍏夊閫忛暅锛屼篃瀛樺湪鐞冨樊鍜岃壊宸?褰撳鍦堢數瀛愪細鑱氭瘮鍐呭湀鐢靛瓙寮烘椂灏卞舰鎴愪簡鐞冨樊锛岃€屽綋鑳介噺鏈夊井灏忓樊寮傜殑鐢靛瓙鑱氱劍鍦ㄤ笉鍚屽钩闈笂鏃跺氨褰㈡垚浜嗚壊宸?锛屼粠鑰岄檺鍒朵簡鏉熸枒鐨勫ぇ灏忓拰浼氳仛瑙掔殑鑼冨洿銆傚儚鏁ｆ牎姝ｅ櫒鍙互琛ュ伩涓嶅悓鏂逛綅瑙掔數瀛愭潫鐨勫儚宸€傛尅鏉跨殑浣滅敤鏄紑鍚垨鍏抽棴鐢靛瓙鏉熴€傜粨鍚堝埢铓€鍜屾矇绉伐鑹猴紝鍒╃敤鐩村啓寮忔洕鍏夋妧鏈彲浠ュ埗澶?0nm鐢氳嚦鏇寸粏鐨勫浘褰紝鏈€灏忓昂瀵歌揪10nm鐨勫師鐞嗗瀷绾崇背鐢靛瓙鍣ㄤ欢涔熷凡缁忓埗澶囧嚭鏉ャ€傜敱浜庣洿鍐欏紡鏇濆厜鎶€鏈墍鍏锋湁鐨勮秴楂樺垎杈ㄧ巼锛屾棤闇€鏄傝吹鐨勬姇褰卞厜瀛︾郴缁熷拰璐规椂鐨勬帺鑶滃埗澶囪繃绋嬶紝瀹冨湪寰撼鍔犲伐鏂归潰鏈夌潃宸ㄥぇ鐨勪紭鍔裤€備絾鐢变簬鐩村啓寮忕殑鏇濆厜杩囩▼鏄皢鐢靛瓙鏉熸枒鍦ㄨ〃闈㈤€愮偣鎵弿锛屾瘡涓€涓浘褰㈢殑鍍忕礌鐐逛笂闇€瑕佸仠鐣欎竴瀹氱殑鏃堕棿锛岃繖闄愬埗浜嗗浘褰㈡洕鍏夌殑閫熷害銆傜洿鍐欏紡鐢靛瓙鏉熷厜鍒诲湪浜ц兘涓婄殑鐡堕浣垮緱瀹冨湪寰數瀛愬伐涓氫腑涓€鑸彧浣滀负涓€绉嶈緟鍔╂妧鏈€屽瓨鍦紝涓昏搴旂敤浜庢帺鑶滃埗澶囥€佸師鍨嬪寲銆佸皬鎵归噺鍣ㄤ欢鐨勫埗澶囧拰鐮斿彂銆備絾鐩村啓寮忕數瀛愭潫鏇濆厜绯荤粺鍦ㄧ撼绫崇墿鎬ф祴閲忋€佸師鍨嬮噺瀛愬櫒浠跺拰绾崇背鍣ㄤ欢鐨勫埗澶囩瓑绉戠爺搴旂敤鏂归潰宸叉樉绀哄嚭閲嶈鐨勪綔鐢ㄣ€侟/span>

鐢靛瓙鏉熷厜鍒荤殑浼樼偣鏄垎杈ㄧ巼楂橈紝鍙秴杩囧厜瀛﹀厜鍒伙紝杈?0nm銆侟br/> 鍏剁己鐐规槸锛欬br/> (1) 鐢熶骇鏁堢巼浣庯紱
(2) 鐢靛瓙鐨勬暎灏勬槗閫犳垚閭昏繎鏁堝簲锛屽鑷存洕鍏夊湪鑺墖涓婄殑鍥惧舰灏哄涓庢帺妯＄増涓婄殑鍥惧舰灏哄娌℃湁绠€鍗曠殑瀵瑰簲鍏崇郴銆侟/span>