被测件最大长度：

150 mm

工作台行程：

5 mm

测杆移动范围９�/p>

0.5mm

分划板刻度范围：

��50栻�/p>

直接测量范围９�/p>

5-20��m

分度值调整范围：

0.05-0.2 ��m

推荐使用分度值：

0.1 ��m

测量压力９�/p>

(1.5��0.1) N

仪器示值稳定性：

0.02 ��m

仪器误差９�/p>

���?.03+1.5ni �?#955;/��）um

n 是格�? i是格�?��是滤光片中心波长，△��是滤光片波长误差

仪器体积９�/p>

280��500��700 mm

仪器重量９�/p>

40 kg