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氧化?铟锡蚀刻剂TE100
氧化?铟锡蚀刻剂TE100图片
品牌: Transene
包装: 4L
产地: 美国


产品名称
ITO etchant TE-100
产品介绍
氧化?铟锡蚀刻剂TE100
说明
氧化锠span >/氧化铟锡蚀刻剂TE?00是微电子产品氧化锡和氧化铟锡（ITO）膜层的选择蚀刻剂。它能有效地蚀刻沉积在陶瓷、介电质、半导体和许多金属上的ITO和氧化锡膜。TE?00蚀刻线清晰、蚀刻速率可控。与阴性和阳性光刻胶具有广泛的匹配性。TE?00与镍、铜、镍铬和铝不匹配、/span>
性质
外观
深琥珀艱/div>
蚀刻速率＋span >25ℂ/span>
15｝span >20 ?/科/div>
操作温度
40｝span >50ℂ/span>
冲洗
去离子水
贮存
20｝span >25ℂ/span>
有效朞/div>
?span >15?5℃，1平/span>
应用
氧化铟锡膜在制备时，**先沉积一层铟—锡膜。然后将铞span >-—锡膜用氧等离子体氧化，或在较高温度下在一个氧化氛中氧化。当进行蚀刻时，铟以三价水络合物[In(H2O)6]3+的形式溶解，而锡则生成[SnCl6]2，/sup>阴离子、/span>


烟台科瑞尔化学科技有限公司
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联系亹 杨先甞/span>
地址: 山东省烟台市芝罘区海港路29?506宣/span>
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