1200度单温区滑竿式PECVD系统
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详细技术参数
详细描述 TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统,由TL1200-S-Mini型滑竿式真空管式炉、石英真空室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、真空测量系统组成。 主要特点: 1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。 2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。 3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。 4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。 5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。 这款TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统,是在PECVD系统上安装一对滑轨,可用手动滑动系统(可按需求设计成电动)。加热和冷却速率最大可达100℃/min。为取得最快加热,可以预先加热炉子到设定的温度,然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却,可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10℃/s,是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。 这款TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件,采用双层壳体结构和30段程序控温仪表,移相触发、可控硅控制,炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料,炉管两端采用不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3Pa, 该系统使用方便,操作简单,具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想半岛bd体育手机客户端 .。 1、瑞典Kanthal A1 电阻丝 Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛 (1)、表面温度高可达1420℃ (2)、表面为不锈钢色(非常亮、客户识别时要注意)、不会生锈,使用时间再长都不会掉渣。 (3)、Kanthal电阻丝资料下载 (4)、Kanthal电阻丝网站 (5)、电阻均衡、温场均衡性好 大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡 有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好 2、安装有空气开关和漏电保护器: 当电路过流或漏电时,空开会自动断开。 3、可以与电脑连接 该炉配有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出 4、炉膛 1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型。 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场 4、采用4周加热,温场更加均衡 5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器) 6、认证 7、法兰 铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购) 标准配置 TL1200单温区滑动式PECVD系统标配
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