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1200度单温区可调真空CVD双管炉
半岛bd体育手机客户端 介绍
主要技术参数
详细描述 CVD系统 由供气系统+双管管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度,可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。 这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200双管管式炉+低真空系统组成 双管管式炉不同于普通的管式炉，他是由双管组成、衬底包覆在内管上、形成一个环状，这样能够大大的提高CVD生长的面积。 滑动式双管炉是一种特殊的CVD系统，是专门为在金属箔（像铜箔、铝箔等）上生长薄膜而设计，广泛应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究上，特别适用于碳纳米管、碳纳米线、石墨烯的生长。这款双管式炉以进口电阻丝康泰尔（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点。 双管管式炉炉底安装一对滑轨，可用手推滑动。加热和冷却速率最大可达100℃/min。为取得最快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10℃/s，是低成本快速热处理的理想炉子。 1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 国产电阻丝炉膛 VS 进口电阻丝炉膛 (1)、表面温度高可达1420℃ (2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。 (3)、Kanthal电阻丝资料下载 (4)、Kanthal电阻丝网站 (5)、电阻均衡、温场均衡性好
大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡 有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好 2、安装有空气开关和漏电保护器： 当电路过流或漏电时，空开会自动断开。 、 3、可以与电脑连接 该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型。 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场 4、采用4周加热，温场更加均衡 5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、认证
7、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
可调真空：通过调节真空挡板阀阀门开关和用微电脑调节真空泵电机的转速来实现双管管式炉内真空度在10-10000Pa之间某一范围内恒定。 标准配置 双管CVD系统标准配件
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