1400度高真空管式炉
半岛bd体育手机客户端 介绍
TL1400-C单温区CVD系统详细技术参数
质保期 一年保修,终身技术支持 特别提示:1.耗材部分如加热元件,炉管,样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 注意事项 1.炉管内气压不可高于0.02MPa 2.由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa 3.当使用的炉管为刚玉管时,炉体温度高于1500℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当 4.进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的气流对热炉管的冲击 5.对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开排气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等) 6.不要在氧化铝管中使用石墨坩埚 详细描述 TL1400半岛bd体育手机客户端 描述 管式炉以硅碳棒为加热元件,采用双层壳体结构和宇电控温仪表,能进行30段程序控温,移相触发、可控硅控制,炉膛采用氧化铝多晶纤维材料,炉管两端能不锈钢法兰密封,不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表,抽真空时真空度能够达到10-3Pa,该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点,是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想半岛bd体育手机客户端 。 1、加热元件 (1)、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低,使用寿命长。 (2)、m冷端长度为210mm, 一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。 (3)、硅碳棒表面氧化非晶膜致密,能够比较好的保护碳棒。 2、安装有空气开关和漏电保护器: 当电路过流或漏电时,空开会自动断开。 3、可以与电脑连接(选购) 该炉配可有通讯接口和软件,可以直接通过电脑控制炉子的各个参数,并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况,炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出,并能把每个时刻的温度数据保存起来,随时可以调出 4、炉膛 进口炉膛 VS 国产炉膛 1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型。 3、炉膛材料热容低、热传导系数低,从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。 4、炉膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。 5、炉膛表面光洁、不易掉粉。 5、可选UL认证电气板 (全部通过UL认证的进口电器) 6、多款可供选择的各种法兰 (直径从25到250mm) 铰链式法兰(选购) 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰(选购) 水冷法兰(选购) 7、认证 标准配置 管式炉标准配件
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