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1200度氢气管式炉CVD系统
半岛bd体育手机客户端 介绍
详细技术参数
质保期 一年保修，终身技术支持 特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 注意事项 1.炉管内气压不可高于0.02MPa 2.由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa 3.进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击 4.对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等） 详细描述 CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，最高温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。 这款CVD系统是由3路供气系统+TL1200氢气管式炉+低真空系统组成 这款管式炉以进口电阻丝瑞典（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的理想半岛bd体育手机客户端 。 康泰尔电阻丝资料下载 1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 进口电阻丝炉膛 (1)、表面温度高可达1420℃ (2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。 (3)、Kanthal电阻丝资料下载 (4)、Kanthal电阻丝网站 (5)、电阻均衡、温场均衡性好
Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡 温场效果好 2、安装有空气开关和漏电保护器： 当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接 该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。 2、采用日本技术成型。 3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按日本***热工技术布置、经过热工软件模拟温场 4、采用4周加热，温场更加均衡 5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、不锈钢支撑架
7、认证
8、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
标准配置 TL1200-CVD系统标配
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