特点

①扫描电镜SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察

■样品台可搭载超大/超重样品

• 通过更换样品提示，可防止由于与样品的接触而损坏设备或样品

• 选配样品交换仓，可在主样品仓保持真空的状态下快速更换样品，大大提高了工作效率

• 具备样品台移动限制解除功能,提高了自由度*

• 红外CCD探测器，提高了样品台移动的安全性

■支持全视野移动。SEM MAP支持超大样品的全视野观察

• 与GUI联合，可配备样品仓室导航相机

• 覆盖整个可观察区域

• 支持360度旋转

②随着各种自动化功能的强化，操作性能得到了进一步优化。

■一个鼠标就能够轻松操作的简约GUI

■各种自动化功能

• 自动调整算法经改良后，等待时间减少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)

• 提高了自动聚焦精度

• 搭载Intelligent Filament Technology（IFT）

■Multi Zigzag，可实现多区域的大视野观察

■Report Creator，可利用获得的数据批量生成数据报告

③可提供满足测试需求的应用解决方案

■可满足多种观察需求的探测器

• 搭载高灵敏度UVD*，支持CL观察

• 高灵敏度半导体式背散射电子探测器，切换成分/凹凸等多种图像

■配备了多功能超大样品仓，可以搭载多种配件

>■SEM/EDS一体化功能*

■三维显示测量软件 Hitachi Map 3D*

■支持图像测量软件Image pro

*配件