精密液体气相发生器
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精密液体气相发生器是针对实验室CVD实验中导入液体的系统,其液体流量是通过数字液体泵来控制,最大流量为80ml/min,精确度为0.005ml。液体被蠕动泵导入到混气系统后,被系统里的加热装置加热成蒸汽,然后随导入的气体被带入到炉管中。本机能够导出多种液体,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多种有机物混合。对于研究用CVD方法生长纳米线和薄膜是**的研究设备。 精密液体气相发生器操作视频
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