小型两通道供气系统CGM-2F
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小型两通道供气系统CGM-2F是一种紧凑型双通道微量气体混合供气系统,输入的两种不同气体通过调节压力和流量,即可输出一种较准确的混合性气体,可用以小型管式炉、手套箱、等离子清洗机、小型PECVD系统。
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