VTC-100旋转涂膜机载样卡盘
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VTC-100旋转涂膜机载样卡盘可以进一步增加设备的使用广泛性,在保持原有真空吸盘的基础上,增加一款凹槽卡盘,即凹槽内放置模板,在模板内开与基片相同大小的孔,增加其使用的广泛性。
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