高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV
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高真空CVD系统OTF-1200X-80-C2HV是由单温区管式炉、两路质子混气系统和高真空机组组成,最高工作温度可达1200℃,混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入管式炉内部,本系统极限真空度可达10-5torr。
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