快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV
半岛bd体育手机客户端 介绍
快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品(尺寸可达3″ )的退火而设计,配有3路流量计和机械泵。本机采用 9KW的红外灯进行加热,最快升温速度可达 100℃/s,配有RS485 接口,可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。
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