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微型PECVD系统
微型PECVD系统图片
产地: 广东


半岛bd体育手机客户端 介绍

微型PECVD系统采用?3" × 16" 的石英腔体,内部设有加热圈对样品进行加热,最高温度可以达到400℃,且采用程序化控温,系统还配有2通道混气装置和双旋机械泵,整套系统安放于移动架上,便于实验操作。本系统系对于薄膜生长和纳米线的制作是***选择。

半岛bd体育手机客户端 型号

微型PECVD系统

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:不需要

2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气:设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源

4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通风装置:需要

主要特点

1、加热圈套有石英罩,以减小热量损失。

2、样品可置于加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3、采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序。

4、设有一滑动法兰安装于移动加上,以便于样品的放入和取出。

5、已通过CE认证。

技术参数

等离子源

1、等离子体射频电源:110V/220V 50Hz/60Hz <100W

2、输出频率:13.56MHz

3、射频功率:7.2W、10.5W、18W三档,可调节

4、腔体尺寸:外径?76.2mm×内径?68.58mm×长406.4mm

5、加热圈:电源220V,最大功率500W,外径?50mm×内径?40mm×70mm,并套有内径?50.8mm×?75mm的石英罩

6、法兰:?3″不锈钢法兰,设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀

7、通入气体:可通入多种惰性气体,如N2、Ar,不可通入易燃易爆性气体

8、真空度:10-2torr(机械泵)

两通道混气系统

1、浮子流量计:10ml/min-100ml/min,2个

2、针阀:304不锈钢针阀,3个

3、压力表:-0.1MPa-1.0MPa(0.01MPa/grid),3个

真空泵

1、抽气速率:120L/min

2、接口:KF-25

半岛bd体育手机客户端 规格

1、尺寸:等离子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,

两通道混气系统340mm×300mm×180mm,移动架600mm×600mm×1250mm

2、重量:32kg


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